德國Research Instruments 公司是屬于Bruker的一個專注于研究室用的深紫外和極紫外光相關的技術的高科技公司，成立于2009年。主要設備制造經驗集中在超高真空超潔凈納米定位系統，各種類型的深（極）紫外光源，光學元件，集成的分析光譜儀器，軟X射線解決方案等。
我們提EUV/XUV分析測試系統相關的OEM組件：包括EUV 光源，EUV探測二極管，EUV CCD相機模塊，EUV光譜分析模塊，EUV能量監控模塊，EUV聚焦模塊.
EUV光源光譜分析儀
技術參數：
wavelength range Operation pressure | 10~18/6~22 nm 10-6 mbar |
Dimension Weight | 700 x 280 x 310 36.5 kg |
Interface | DN 40 CF |
Electronic Interface | CCD: USB2 1x (connects to PC) Lemo 1x (for shutter control) |
埃伯儀器是專業的真空薄膜制備解決方案供應商，主要產品有分子束外延系統（MBE）、 脈沖激光沉積系統（PLD)、 反射式高能電子衍射儀（RHEED)、蒸發源、 電子槍、離子槍等！！
