快速退火爐
溫度范圍：~600℃
加熱板尺寸：15 x 30 mm
工作氣氛：真空、惰性氣體、氮?dú)浠旌蠚夥?/span>
AO600模式可以升溫至最高溫度。它可以從室溫升至600℃，并可以實(shí)現(xiàn)精確的溫度控制和維持。
AO600為了精確加熱小尺寸的半導(dǎo)體材料樣品到500℃/600℃并可以精確地控制而制造的。AO600應(yīng)用于很多熱處理過(guò)程，像半導(dǎo)體樣品的快速熱處理，電子器件合成，以及成分和溫度對(duì)半導(dǎo)體的影響研究。
內(nèi)置微型控制器可以設(shè)定電源和加熱盤(pán)溫度以及氣體開(kāi)關(guān)和真空泵啟動(dòng)。退火爐操作的所有所需功能都是直觀的，并且可以通過(guò)箱體上的觸摸屏顯示設(shè)定。
為了得到干凈的可重復(fù)的操作，并且為了避免樣品在熱處理過(guò)程中污染和氧化，可以在惰性氣體(Ar,N2,等)或混合氣體(H2/N2混合氣體)氛圍下或者真空(<5mbar)下進(jìn)行操作。
樣品的裝載和取出可以通過(guò)移動(dòng)退火爐上方的玻璃窗容易地完成。該玻璃窗也可以使光線容易地透過(guò)并接受。因此可以通過(guò)顯微鏡來(lái)觀察退貨過(guò)程中的樣品。
加熱盤(pán)是由AL2O3薄膜制造的。溫度測(cè)量是通過(guò)PT100探測(cè)器得到的，它直接和加熱器集成在一起。這種設(shè)計(jì)可以精確地控制溫度并可以快速加熱，決定了最小的溫度誤差，使得溫度接收時(shí)非常低的熱漂移。
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