荷蘭Twente Solid State Technology BV(TSST)公司專注于為用戶提供定制化的脈沖激光沉積系統(PLD),以及相關薄膜制備解決方案,公司具有20多年研究與生產脈沖激光沉積系統的經驗。
TSST與世界最大的納米與微系統技術研究中心之一荷蘭Twente大學MESA+ Institute保持著密切合作,開發出各種脈沖激光沉積技術中需要使用的核心技術。
大面積脈沖激光沉積實現原理:利用激光在條形靶材表面的掃描,實現大面積的薄膜生長;

靶材臺展示:

大面積樣品加熱臺展示:

樣品生長結果(YSZ on Silicon):
