離子源是使試樣原子或分子電離，從中引出具有一定形狀、能量和強度的離子束的裝置，是各種類型粒子加速器、質譜儀、離子束刻蝕裝置不可缺少的部件。
根據不同的應用需求，我們提供多種型號和規格的離子源供用戶選用，用于樣品刻蝕、精密刻蝕和深度剖析、電荷中和等等。我們的離子源設計緊湊、質輕、性能高，采用獨一無二的電子光學設計，具有無與倫比的優勢。
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直達具體產品分子束外延系統（MBE）、 脈沖激光沉積系統（PLD)、 反射式高能電子衍射儀（RHEED)、蒸發源、 離子源?、電子槍
