RHEA-100 RHEED能量分析儀
RHEA-100 RHEED能量分析儀可以原位檢測電子能量損失圖譜(EELS)。采用靈敏的光電倍增管和鎖相技術可以測量不同衍射角度的電子能量分布，因此，在材料生長過程中快速靈敏的測量能量損失可以了解材料表面的元素組成及化學狀態(tài)。
RHEA-100 RHEED能量分析儀有不同的操作模式：1，在熒光屏上呈現(xiàn)能量過濾的完整RHEED圖譜。2，測量所選角度范圍內的原位能量損耗分布。分析儀可以提供非彈性散射電子的遷移，并通過EELS實現(xiàn)表面化學態(tài)的快速原位檢測。從而保持了RHEED的所有優(yōu)點，如生長過程原位成像，較長的工作距離，視頻同步圖像采集，震蕩強度。
特點：
法蘭：CF100
工作距離：50-250mm
工作氣壓：UHV-10-5Torr
能量分辨率：優(yōu)于原始能量的0.02%
能量范圍：15keV，20keV，30keV
電子監(jiān)測：熒光屏
過濾角度：20°
數據收集：光電倍增管和鎖相放大器的EELS測量系統(tǒng)，CCD照相觀測衍射圖譜
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直達具體產品分子束外延系統(tǒng)（MBE）、 脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD)、 反射式高能電子衍射儀（RHEED)、蒸發(fā)源、 離子源?、電子槍
